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CN61M/WJZ-II 多功能激光橢圓偏振儀
產品特點:儀器采用消光法自動測量薄膜厚度和折射率,具有精度高、靈敏度高以及方
便測量等特點;
光源采用氦氖激光器,功率穩定、波長精度高;
儀器配有生成表、查表以及精確計算等軟件,方便用戶使用。
規格與主要技術指標:
測量范圍:薄膜厚度范圍:1nm-300nm;折射率范圍:1-10
測量最小值:≤1nm 入射光波長:632.8nm 光學中心高:80mm
允許樣品尺寸:&pHi;10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器方位角范圍:0°- 180°讀取分辨率為0.05°
外形尺寸:680*390*320mm
測量膜厚和折射率重復性精度分別為:±0.5nm和±0.005
主機重量:25kg 入射角連續調節范圍:20°- 90°精度為0.05°
成套性:主機、電控系統、計算軟件








